太陽電池用Si薄膜を10倍以上の速度で作製、低コスト化に道

単結晶Si薄膜の作製プロセス。ポーラスシリコン基板の表面粗さが結晶欠陥の形成に重要な影響を与える(出所:東工大および早稲田大) (出所:東工大および早稲田大)
単結晶Si薄膜の作製プロセス。ポーラスシリコン基板の表面粗さが結晶欠陥の形成に重要な影響を与える(出所:東工大および早稲田大)
(出所:東工大および早稲田大)

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