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 横河ソリューションサービスは、直径0.5インチ(12.5mm)の小型ウエハーを使う小型半導体製造装置シリーズ「ミニマルファブ」のデモ用ショールーム「横河ミニマルアプリケーションラボ」を2016年4月1日にオープンする。ミニマルファブは少量多品種のLSI製造に向けた半導体装置群で、産業技術総合研究所の主導の下、規格に従って各社が各工程向けの装置を開発しており、現時点で71機種が完成または完成予定という。横河ソリューションサービスでは、これらのうちフォト工程を中心とする10機種を同ラボに設置し、ミニマルファブの導入を検討する顧客に向けて、試作などの要求に応える。同社では、ミニマルファブのいわば“1ストップ窓口”となり、ミニマルファブのトータルコンサルティングとして、試作から導入・立ち上げ・運用・保守などのサービスを提供していく考えだ。

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