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SCREENセミコンダクターソリューションズは、IoT(Internet of Things)向け電子デバイスの検査・計測装置を開発した(。今回発売したのは、パターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3500」と、エリプソ式膜厚測定装置「RE-3500」、光干渉式の膜厚測定装置「VM-3500」の3機種。

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