米IBMは，米INFICONから半導体製造向けリソグラフィ・プロセス制御ソフトウエア「ARGUS」と関連知的財産を買収した。IBMが米国時間1月27日に明らかにしたもの。ただし同社は，買収金額など詳しい取引条件については公表していない。
ARGUSは，半導体製造のリソグラフィ工程において，Advanced Process Control（APC）と呼ばれる手法でプロセス制御を行うソフトウエア。上流および下流工程の計測データを参照してプロセスをリアルタイムに調整し，歩留まり向上，リソグラフィ工程のやり直し回数低減，量産立ち上げ作業の改善を図るという。
IBMはエンジニアリング＆技術サービス（E＆TS）部門およびマイクロエレクトロニクス部門を通じ，ARGUSユーザーに対する販売／サポート／サービスを継続する。INFICONの開発／サポート要員はIBMに移る。
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