日経クロステック(xTECH)

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タイトルPerspective:水晶の完全代替なるか MEMS発振器の実力
掲載誌日経エレクトロニクス2017/01号
(135~143ページ掲載)
ページ数9
要約 単結晶Siで振動子を形成するMEMS構造によって、MEMS発振器は衝撃や振動などの外部ストレスに極めて強い。MEMS振動子の質量は水晶振動子の1/3000〜1/1000で、衝撃や振動による加速度を受けても生じる力は小さく、周波数変動を抑えられる。 我々の製品(「Elite」シ…

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