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タイトル | Breakthrough ムーアの法則、EUVで再起動へ:素子構造の革新も具体化 システム全体の最適化が必須に |
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掲載誌 | 日経エレクトロニクス2017/09号 (36~37ページ掲載) |
ページ数 | 2 |
要約 | 例えば、FinFETの進化を見ると、当初は微細化する一方でFin数を増やすことでチャネル電流を増やせると考えられていた。しかし、リソグラフィーの解像度向上が進まない中、Fin数を増やすとトランジスタの占有面積が大幅に増えてしまう。結果として、Fin高を増やし… |
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