ダウンロード用誌面PDFの詳細情報
| タイトル | Ｂｒｅａｋｔｈｒｏｕｇｈ ムーアの法則、ＥＵＶで再起動へ：〔第３部：ＥＵＶ対抗のダークホース〕 実用化間近のナノインプリント、２０１９年にも３Ｄ ＮＡＮＤ量産 |
|---|---|
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス2017/09号 （38～41ページ掲載） |
| ページ数 | 4 |
| 要約 | NILは数年前までは、パターニングの際の欠陥が多く、とても半導体製造に利用できる技術ではなかった。現在は多くの課題が改善し、NANDフラッシュメモリーでの実用化レベルに向上しつつある。具体的には、（1）ウエハー上の塵の数、（2）テンプレートやウエハー… |
以下のボタンを押すと、記事PDFデータのダウンロード（表示）を開始し、ご利用済みページ数を更新します。
「ご利用可能残ページ」が1以上であれば、対象記事のページ数にかかわらず閲覧（PDFダウンロード）が可能です。
同じ記事は、24時間以内であれば何度でもダウンロードできます（ご利用済みページ数は更新しません）。
過去3カ月分の利用明細はこちらで確認できます。
PDFダウンロードは日経クロステック有料会員限定のサービスです。日経クロステック有料会員と登録会員の違いは料金表のページで確認できます。