ダウンロード用誌面PDFの詳細情報
| タイトル | Ｈｏｔ Ｎｅｗｓ：住友化学がパワー半導体を狙い ＧａＮ基板量産へ、２４年度に４インチ：子会社を吸収し、２０２６年ごろに６インチ基板も実用化 |
|---|---|
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス2022/12号 （16～19ページ掲載） |
| ページ数 | 4 |
| 要約 | 住友化学は、VAS（Void Assisted Separation）法と呼ぶ独自のGaN基板製造法を開発した（図3）。これはGaN基板の製造時の課題だった「結晶の剥がしにくさ」を改善するとともに、デバイスに悪影響を及ぼす因子を導入しない成長法である。 まず、サファイア基板を用意… |
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