ダウンロード用誌面PDFの詳細情報
| タイトル | レポート：投資は２００万円、効果は１５０倍の３億円 京セミが驚異のレトロフィットＩｏＴ |
|---|---|
| 掲載誌 | 日経ものづくり2021/02号 （32～33ページ掲載） |
| ページ数 | 2 |
| 要約 | 京セミがIoT化の対象として最初に選んだのは、成膜工程のプラズマCVD（化学蒸着）装置（図2）。半導体製造の主に前工程を手掛ける同社恵庭事業所（北海道恵庭市）において、25年以上にわたりほぼ毎日稼働している装置をIoT化した。 生産性向上や異常検知のため… |
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